用于自动确定最优参数化的散射测量模型的方法

摘要

提供了用于分析具有未知参数的样本衍射结构的散射测量模型优化参数的自动确定。预处理器根据多个浮动的模型参数，确定简化的模型参数集合，该简化的模型参数集合能够基于从关于每个参数的测得的光谱信息的雅克比矩阵中确定的用于每个参数的相对精度，合理地在散射测量模型中浮动。在考虑组合的参数间的相关性的情况下，确定用于每个参数的相对精度。

主权项

一种评估衍射结构的方法，所述方法包括：接收所测得的用于所述衍射结构的光谱信息；接收用于所述衍射结构的散射测量模型，所述散射测量模型具有多个(N个)模型参数；计算所测得的光谱信息的雅克比矩阵，该雅克比矩阵包含针对所述多个模型参数的每个模型参数的列；计算包括由所述雅克比矩阵推导出的参数列的多个组合的测试矩阵；针对所述多个组合中的所述参数列的每个参数列，计算相对精度度量，其中所述相对精度度量是所述参数列的硬件精度与所述参数列的预期过程变差的函数；针对所述多个组合中的每个组合，将所计算的相对精度度量中的最大值与对应的组合相关联；识别具有小于临界值的所关联的最大相对精度度量的所述多个组合中的一个组合，其中该组合包括最大数量的参数列，其中在所识别的组合中的参数在修订的散射测量模型中是待浮动的；以及使用所述修订的散射测量模型在所述测得的光谱信息上运行回归来生成仿真的光谱信息。