发明名称 |
一种蓝宝石表面抗反射微纳结构及其制备方法 |
摘要 |
本发明提供了一种蓝宝石表面抗反射微纳结构及其制备方法,该制备方法,包括:在蓝宝石表面制备一层金属铝膜;将所述金属铝膜经两次阳极氧化后形成表面均匀有序多孔的氧化铝薄膜;将所述多孔氧化铝薄膜经两步热处理后形成表面具有孔状微纳结构的蓝宝石。本发明的制备工艺简单,能显著降低制备成本;并且所制备的蓝宝石表面微纳结构,较均匀有序,在可见光或中红外波段具有明显的抗反射增透效果,同时表面自清洁性更佳。 |
申请公布号 |
CN104846336A |
申请公布日期 |
2015.08.19 |
申请号 |
CN201510126108.X |
申请日期 |
2015.03.20 |
申请人 |
哈尔滨工业大学深圳研究生院 |
发明人 |
汪桂根;韩杰才;王立彦 |
分类号 |
C23C14/18(2006.01)I;C25D11/04(2006.01)I;C25D11/18(2006.01)I;B82Y40/00(2011.01)I |
主分类号 |
C23C14/18(2006.01)I |
代理机构 |
深圳市科吉华烽知识产权事务所(普通合伙) 44248 |
代理人 |
韩英杰 |
主权项 |
一种蓝宝石表面抗反射微纳结构的制备方法,其特征在于,包括:(1)在蓝宝石基片上溅射金属铝薄膜;(2)将所述蓝宝石表面金属铝薄膜经两次阳极氧化形成表面均匀有序多孔的氧化铝多晶薄膜;(3)将所述的表面均匀有序多孔的氧化铝多晶薄膜经两步退火热处理,从而形成蓝宝石表面孔状抗反射微纳结构。 |
地址 |
518000 广东省深圳市南山区西丽镇深圳大学城哈工大校区 |