发明名称 半導体装置の作製方法
摘要
申请公布号 JP5764616(B2) 申请公布日期 2015.08.19
申请号 JP20130121806 申请日期 2013.06.10
申请人 发明人
分类号 G09F9/00;G02F1/1368;H01L21/02;H01L21/336;H01L29/786 主分类号 G09F9/00
代理机构 代理人
主权项
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