一种蒸镀设备及蒸镀生产线

摘要

本发明涉及显示装置的制造技术领域，公开了一种蒸镀设备及蒸镀生产线，以减小蒸镀生产线的占地面积，节约设备成本。蒸镀设备包括机械手以及位于机械手的主轴外侧且呈方形环列分布的两个蒸镀腔室、基板传入腔室、基板传出腔室，以及掩模板存放腔室，其中：两个蒸镀腔室分别设置于方形环列的第一边侧和第二边侧，每个蒸镀腔室内配置有两个基板蒸镀工位、线蒸镀源，以及掩模板对位设备；基板传入腔室设置于方形环列的第三边侧，内部配置有基板传入工位；基板传出腔室设置于方形环列的第四边侧，内部配置有基板传出工位；掩模板存放腔室与基板传入腔室或基板传出腔室并排设置。

主权项

一种蒸镀设备，其特征在于，包括机械手以及位于机械手的主轴外侧且呈方形环列分布的两个蒸镀腔室、基板传入腔室、基板传出腔室，以及掩模板存放腔室，其中：两个蒸镀腔室分别设置于所述方形环列的第一边侧和第二边侧，每个蒸镀腔室内配置有两个基板蒸镀工位、线蒸镀源，以及掩模板对位设备；所述基板传入腔室设置于所述方形环列的第三边侧，内部配置有基板传入工位；所述基板传出腔室设置于所述方形环列的第四边侧，内部配置有基板传出工位；所述掩模板存放腔室与所述基板传入腔室或所述基板传出腔室并排设置。