由反应气体混合物在工件上淀积层膜的化学气相淀积反应器

摘要

本发明涉及由反应气体混合物在工件上淀积层膜的化学气相淀积反应器，包括：长条形竖立的反应室(10)，它由反应器壁板(11)和反应器底板(12)界定；用于使反应气体流入反应室(10)的进气管(34)，该进气管在该反应器底板(12)的区域内通入反应室(10)；用于使耗用反应气体从反应室(10)流出的固定不动的排气管(31)，该排气管在反应器底板区域内伸出该反应室(10)；层状的工件支座(21)，它居中设置在反应室(10)中并能绕其中心轴线转动。

主权项

一种用于在工件上由反应气体淀积层膜的化学气相淀积反应器，包括：长条形竖立的反应室(10)，它由反应器壁板(11)和反应器底板(12)界定，用于使反应气体流入该反应室(10)的进气管(34)，该进气管在该反应器底板(12)区域内通入该反应室(10)，用于使耗用反应气体从反应室(10)流出的排气管(31)，该排气管（31）在该反应器底板区域内伸出该该反应室(10)，层状的工件支座(21)，它设置在该反应室(10)中并能绕其中心轴线转动，其中该工件支座的中心轴线和该排气管的中心轴线重合，其特征在于，该排气管（31）设计成是固定不动的，该进气管设置在该工件支座和该反应器壁板之间。2. 根据权利要求1所述的化学气相淀积反应器，其中，该反应器壁板(11)至少局部可被加热，并且该进气管(34)是平行于该反应器壁板(11)的可被加热部分延伸的管。3. 根据权利要求2所述的化学气相淀积反应器，其中，该进气管(34)的长度被设定为该进气管基本上延伸到该工件支座(21)的最高层。4. 根据权利要求3所述的化学气相淀积反应器，其中，对应于各层地为该工件支座的每一层在该进气管内设置至少一个开口(36)，并且这些层在径向上是可接近的，从而反应气体可在径向上从该进气管的开口(36)沿该层流到排气管(31)。5. 根据权利要求1所述的化学气相淀积反应器，其中，该排气管(31)是在中央从该反应器底板(12)延伸至最高层的且针对每一层在各层高度上具有至少一个用于使耗用反应气体流入排气管(31)的开口(32)的管。6. 根据权利要求2所述的化学气相淀积反应器，其中，该进气管(34)在其远离该反应器底板(12)的一端是敞开的，该工件支座(21)在其远离该反应器底板(12)的一端具有设有多个开口(40)的盖板(22)，从而反应气体可以从该进气管(34)的开口经该盖板(22)中的多个开口(40)流向反应器底板(12)并且经过排气管(31)流出该反应室(10)。7. 根据权利要求1至6之一所述的化学气相淀积反应器，其中，设有多个进气管(34)，多种不同反应气体可通过所述多个进气管单独流入该反应室(10)，以便在该反应室(10)内混合成反应气体。8. 根据权利要求7所述的化学气相淀积反应器，其中，该进气管包括多个由绝热材料构成的通道。9. 根据权利要求6所述的化学气相淀积反应器，其中，在该盖板(22)上方的区域内，在该反应室(10)中限定出混合室(42)，反应气体可流入该混合室。10. 根据权利要求7所述的化学气相淀积反应器，其中，形成在该进气管 (34)中的多个开口(36)如此取向，流出的反应气体相互碰撞。11. 根据权利要求1至6之一所述的化学气相淀积反应器，其中，该工件支座(21)在反应器底板(12)区域内具有内齿部(28)，被驱动的齿轮(29)与该内齿部啮合，以驱动工件支座(21)转动。12. 根据权利要求1至6之一所述的化学气相淀积反应器，其中，一个或多个反应气体发生器在反应器底板区域内被整合到该进气管中并且安置在该反应室内。13. 根据权利要求1至6之一所述的化学气相淀积反应器，其中，在该进气管(34)中整合了用于在该反应室(10)中裂变、分解和/或活化气体的模块。14. 根据权利要求1至6之一所述的化学气相淀积反应器，其中，该排气管(31)和/或该工件支座(21)居中布置。15. 根据权利要求1至6之一所述的化学气相淀积反应器，其中，该工件支座只能绕其中心轴线转动。