自动排序的多向流水线处理设备

摘要

一种用于同时处理几个衬底的设备和方法。所述系统采用新的架构，其在为线性时，可自主地排序处理并且如有需要在不同的方向上移动衬底。所述系统同时移动几个衬底；然而，与现有技术不同的是所述系统不利用托盘。

主权项

一种流水线衬底处理系统，包括：真空处理室；第一预真空室，耦合到所述真空处理室的第一侧；第一交换台，耦合到第一预真空室的与所述真空处理室相对的一侧；其特征在于：第二预真空室，耦合到所述真空处理室的与所述第一侧相对的第二侧；第二交换台，耦合到第二预真空室的与所述真空处理室相对的一侧；第一交换机构，定位于所述第一交换台中，用于将新的衬底加载到所述第一交换台中以及从所述第一交换台移走处理过的衬底；基座，定位于所述真空处理室内；衬底支架，被构造成支撑至少一个衬底，其中所述衬底支架包括用于从所述真空处理室移走所述基座并且移到加载室之外的设备。