发明名称 |
一种在非晶硅薄膜表面形成织构化微晶银的方法 |
摘要 |
本发明公开了一种在非晶硅薄膜表面形成织构化微晶银的方法,包括以下步骤:将醋酸银与草酸溶解,配制成含有醋酸银与草酸的前驱体溶液,其中,所述醋酸银和草酸的质量比为(3.2~13.1):(0.1~0.5);将所述前驱体溶液涂覆在非晶硅薄膜表面;将涂覆处理后的非晶硅薄膜在200~300℃进行热处理,在非晶硅薄膜表面形成织构化微晶银。通过上述方法在非晶硅薄膜表面原位诱导生长微晶银颗粒,且微晶银颗粒之间互相作用,呈不规则排列并形成空隙,因此该微晶银颗粒在微观上形成织构化结构,提高了非晶硅薄膜的光吸收效率。该方法只需将原料混合、涂覆、热处理即可得到产品,工艺简单易控、对设备要求低且节约成本,容易实现大规模生产。 |
申请公布号 |
CN103268901B |
申请公布日期 |
2015.08.19 |
申请号 |
CN201310159378.1 |
申请日期 |
2013.05.03 |
申请人 |
深圳市万业隆太阳能科技有限公司 |
发明人 |
季红 |
分类号 |
H01L31/18(2006.01)I;H01L31/20(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
代理机构 |
深圳中一专利商标事务所 44237 |
代理人 |
张全文 |
主权项 |
一种在非晶硅薄膜表面形成织构化微晶银的方法,包括以下步骤:将醋酸银与草酸溶解,配制成含有醋酸银与草酸的前驱体溶液,其中,所述醋酸银和草酸的质量比为(3.2~13.1):(0.1~0.5);将所述前驱体溶液涂覆在非晶硅薄膜表面;将涂覆处理后的非晶硅薄膜在200~300℃进行热处理,在非晶硅薄膜表面形成织构化微晶银。 |
地址 |
518000 广东省深圳市宝安区石岩街道洲石路南侧浪心社区梨园工业区D4栋2#厂房三层 |