发明名称 一种在非晶硅薄膜表面形成织构化微晶银的方法
摘要 本发明公开了一种在非晶硅薄膜表面形成织构化微晶银的方法,包括以下步骤:将醋酸银与草酸溶解,配制成含有醋酸银与草酸的前驱体溶液,其中,所述醋酸银和草酸的质量比为(3.2~13.1):(0.1~0.5);将所述前驱体溶液涂覆在非晶硅薄膜表面;将涂覆处理后的非晶硅薄膜在200~300℃进行热处理,在非晶硅薄膜表面形成织构化微晶银。通过上述方法在非晶硅薄膜表面原位诱导生长微晶银颗粒,且微晶银颗粒之间互相作用,呈不规则排列并形成空隙,因此该微晶银颗粒在微观上形成织构化结构,提高了非晶硅薄膜的光吸收效率。该方法只需将原料混合、涂覆、热处理即可得到产品,工艺简单易控、对设备要求低且节约成本,容易实现大规模生产。
申请公布号 CN103268901B 申请公布日期 2015.08.19
申请号 CN201310159378.1 申请日期 2013.05.03
申请人 深圳市万业隆太阳能科技有限公司 发明人 季红
分类号 H01L31/18(2006.01)I;H01L31/20(2006.01)I 主分类号 H01L31/18(2006.01)I
代理机构 深圳中一专利商标事务所 44237 代理人 张全文
主权项 一种在非晶硅薄膜表面形成织构化微晶银的方法,包括以下步骤:将醋酸银与草酸溶解,配制成含有醋酸银与草酸的前驱体溶液,其中,所述醋酸银和草酸的质量比为(3.2~13.1):(0.1~0.5);将所述前驱体溶液涂覆在非晶硅薄膜表面;将涂覆处理后的非晶硅薄膜在200~300℃进行热处理,在非晶硅薄膜表面形成织构化微晶银。
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