真空室泄漏空气量在线检测方法及装置

摘要

本发明涉及一种真空室泄漏空气量在线检测方法，并涉及用于该方法的一种真空室泄漏空气量在线检测装置，属于结构件密封性测试技术领域。该方法是分别计量、读取并换算送入真空室中惰性气体的流量和排出真空室气体的流量，通过质谱仪实时分析和计算取样的排出气体中的惰性气体成分和占排出气体的体积比；根据公式计算出实时空气泄漏量并输出显示。该装置包括设置于真空室进气管上的第一变送器、设置于真空室排气管上的取样管、设置于真空室排气管上的第二变送器、质谱仪和计算显示装置，取样管的输出端连接质谱仪的输入端，流量变送器和质谱仪的信号输出端连接计算显示装置。该方法及装置为指导真空室生产及检修提供了可靠依据。

主权项

一种真空室泄漏空气量在线检测方法，其特征在于:包括以下步骤：1)实时计量读取送入真空室中惰性气体的第一流量、第一温度和第一压力，将读取的第一流量换算为标准大气压下送入惰性气体流量；2)实时计量读取真空室排出气体的第二流量、第二温度和第二压力，将读取的第二流量换算为标准大气压下排出气体流量；3)实时取样真空室排出气体并将取样的排出气体输送给质谱仪，质谱仪实时分析取样的排出气体中所述惰性气体的成分，并实时计算出标准大气压下排出气体中所述惰性气体占排出气体的体积比；4)根据公式计算出实时空气泄漏量，Q_漏是实时空气泄漏量，Q_入是标准大气压下送入惰性气体流量，Q_出是标准大气压下排出气体流量，k是标准大气压下排出气体中所述惰性气体占排出气体的体积比，k₀是标准大气压下空气中所述惰性气体占空气的体积比；5)将所述实时空气泄漏量Q_漏输出并显示。