板检测装置

摘要

本发明公开一种板检测装置，其能够提高检测精度。该板检测装置包括至少一个照明组件、成像透镜、第一光束分离器、第一照相机和第二照相机。照明组件向被检测的板发射光，而成像透镜透射从被检测板反射的光。第一光束分离器透射从成像透镜透过的光的一部分，并反射该透过光的其余部分。第一照相机接收透过第一光束分离器的光并捕捉图像，而第二照相机接收由第一光束分离器反射的光并捕捉图像。根据本发明，由于仅使用一个成像透镜来检测板，因此与使用具有光轴差异或放大率差异的多个成像透镜的常规装置相比，防止了检测精度的降低。

主权项

一种板检测装置，包括：至少一个照明组件，其向检测板提供图案光；成像透镜，其透射从所述检测板反射的所述图案光；第一光束分离器，其透射从所述成像透镜透过的所述图案光的一部分，并且反射从所述成像透镜透过的所述图案光的其余部分；第一照相机，其通过接收透过所述第一光束分离器的所述图案光执行图像捕捉；以及第二照相机，其通过接收从所述第一光束分离器反射的所述图案光执行图像捕捉，其中，所述第一照相机的图像捕捉元件的中心线与所述成像透镜的中心线设置为彼此不吻合，并且所述检测板的中心线与所述成像透镜的中心线设置为彼此不吻合。