| 发明名称 | 涂层检查方法 | ||
| 摘要 | 披露了一种用于检测化学气相沉积(CVD)涂层中的间断部的反射测量方法和其他方法。该方法包括几个步骤。一个热塑性容器壁(710)设置为具有一个外表面、一个内表面、以及在该内表面和该外表面中的至少一个上的一个CVD涂层。该容器壁和该CVD涂层具有不同的折射率。电磁能量(718)在有效引起能量从该CVD涂层的多个位置反射的条件下撞击到该CVD涂层的多个位置上。对该反射能量进行分析以确定该反射能量是否包括该CVD涂层中的一个间断部的至少一个伪影。 | ||
| 申请公布号 | CN104854257A | 申请公布日期 | 2015.08.19 |
| 申请号 | CN201380056991.9 | 申请日期 | 2013.10.31 |
| 申请人 | SIO2医药产品公司 | 发明人 | T·E·菲斯克 |
| 分类号 | C23C16/04(2006.01)I;C23C16/52(2006.01)I;G01B11/06(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 李英 |
| 主权项 | 一种用于检测化学气相沉积(CVD)涂层中的间断部的反射测量方法，该方法包括：·提供一个热塑性容器壁，该热塑性容器壁具有一个外表面、一个内表面、以及在该内表面和该外表面中的至少一个上的一个CVD涂层，该容器壁和该CVD涂层具有不同的折射率；·将电磁能量在有效引起能量从该CVD涂层的多个位置反射的条件下碰撞在该CVD涂层的多个位置上；·对该反射能量进行分析以确定该反射能量是否包括该CVD涂层中的一个间断部的至少一个伪影。 | ||
| 地址 | 美国亚拉巴马 | ||