形状测量设备和形状测量误差校正方法

摘要

本发明涉及一种形状测量设备和形状测量误差校正方法。计算器包括第一滤波器、第二滤波器和加法装置。所述第一滤波器将基于从标尺到被测物放置部的第一频率传递特性对由标尺检测到的移位台的移位进行校正得到的值输出为第一校正值。所述第二滤波器将基于从端部球到端部球移位检测器的第二频率传递特性对所述第一校正值进行校正得到的值输出为第二校正值。所述加法装置通过将所述第二校正值与由所述端部球移位检测器检测到的所述端部球的移位相加来计算测量值。

主权项

一种形状测量设备，包括：移位台，其被配置为在坐标轴方向上移位，所述移位台包括要放置被测物的被测物放置部；扫描探测器，其包括端部具有端部球的触针，所述扫描探测器被配置为使所述端部球与位于所述移位台的所述被测物放置部上的被测物相接触，以进行扫描测量；端部球移位检测器，其在所述扫描探测器中位于所述触针的基端侧，所述端部球移位检测器被配置为检测所述端部球的移位；标尺，其被配置为检测所述移位台在坐标轴方向上的移位；以及计算器，其被配置为使用所述标尺所检测到的所述移位台的移位和所述端部球移位检测器所检测到的所述端部球的移位，来计算测量值，其中，所述计算器还被配置为基于从所述标尺到所述被测物放置部的第一频率传递特性，来对所述标尺所检测到的所述移位台的坐标轴方向的移位进行校正处理，以及所述计算器还被配置为基于从所述端部球到所述端部球移位检测器的第二频率传递特性，来对校正后的所述移位台的坐标轴方向的移位进行校正处理。