| 发明名称 | 含第4族金属的膜的沉积方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及含第4族金属的膜的沉积方法，尤其是一种利用通式M(OR<sup>1</sup>)(OR<sup>2</sup>)(R<sup>3</sup>C(O)C(R<sup>4</sup>)C(O)XR<sup>5</sup><sub>y</sub>)<sub>2</sub>的前体通过原子层沉积形成含金属膜的方法，其中，M是第4族金属；R<sup>1</sup>和R<sup>2</sup>可以相同或不同，选自直链或支链C<sub>1-10</sub>烷基和C<sub>6-12</sub>芳基；R<sup>3</sup>可选自直链或支链C<sub>1-10</sub>烷基和C<sub>6-12</sub>芳基，优选为C<sub>1-3</sub>烷基；R<sup>4</sup>是选自氢、C<sub>1-10</sub>烷基和C<sub>6-12</sub>芳基，优选为氢；R<sup>5</sup>是选自直链或支链C<sub>1-10</sub>烷基和C<sub>6-12</sub>芳基，优选为甲基或乙基；X＝O或N，其中当X＝O时，y＝1且R<sup>1，2和5</sup>是相同的，当X＝N时，y＝2且每个R<sup>5</sup>可以相同或不同。 | ||
| 申请公布号 | CN102041482B | 申请公布日期 | 2015.08.19 |
| 申请号 | CN201010521611.2 | 申请日期 | 2010.10.25 |
| 申请人 | 气体产品与化学公司 | 发明人 | S·V·埃瓦诺夫;X·雷;H·程;D·P·斯佩斯;金武性 |
| 分类号 | C23C16/40(2006.01)I;C23C16/18(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I;C23C16/455(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/40(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人 | 陈文平;尚继栋 |
| 主权项 | 在原子层沉积条件下向衬底上沉积含至少一种金属的膜的方法，所述金属选自钛、铪和锆，所述方法包括将衬底与如下通式所示的组成物接触：<img file="FSB0000139813580000011.GIF" wi="684" he="593" />其中，M是选自Ti、Zr和Hf的第4族金属；其中R<sup>1</sup>和R<sup>2</sup>是相同或不同的，选自直链或支链C<sub>1‑10</sub>烷基和C<sub>6‑12</sub>芳基；R<sup>3</sup>是选自支链C<sub>3‑6</sub>烷基和C<sub>6‑12</sub>芳基；R<sup>4</sup>是选自氢、C<sub>1‑3</sub>烷基和C<sub>6‑12</sub>芳基；R<sup>5</sup>是选自直链或支链C<sub>1‑10</sub>烷基和C<sub>6‑12</sub>芳基；X＝O，y＝1且R<sup>1</sup>、R<sup>2</sup>和R<sup>5</sup>相同。 | ||
| 地址 | 美国宾夕法尼亚州 | ||