| 发明名称 | 蒸镀遮罩、蒸镀系统及材料的提纯方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种蒸镀遮罩，配置于蒸镀源和基板之间，包括：管状的主体部，包括一开口部；部分遮挡所述开口部的遮挡部，用以控制来自蒸镀源的蒸发物质在开口部的辐射角度。本发明还公开了一种蒸镀系统及材料的提纯方法。本发明的蒸镀遮罩，不仅可以控制蒸镀材料的辐射角度，还可以对蒸镀材料进行提纯回收，节约材料。 | ||
| 申请公布号 | CN103194724B | 申请公布日期 | 2015.08.19 |
| 申请号 | CN201310120171.3 | 申请日期 | 2013.04.08 |
| 申请人 | 苏州大学 | 发明人 | 廖良生;丁磊;周东营 |
| 分类号 | C23C14/24(2006.01)I;C23C14/12(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/24(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 常亮 |
| 主权项 | 一种蒸镀遮罩，配置于蒸镀源和基板之间，其特征在于，包括：管状的主体部，包括一开口部；部分遮挡所述开口部的遮挡部，所述遮挡部与所述主体部转动连接，所述遮挡部用以控制来自蒸镀源的蒸发物质在开口部的辐射角度；所述的蒸镀遮罩的材料为玻璃、石英、氟化镁或氟化钙。 | ||
| 地址 | 215123 江苏省苏州市工业园区仁爱路199号 | ||