用于分离的激光装置和分离方法

摘要

本发明公开了一种用于分离物体的装置101，该装置101包含有：激光器103，其被配置来发出具有高斯辐照度分布曲线的激光束105；光束成形设备115，其被配置来重新成形从激光器103中发出的激光束105的高斯辐照度分布曲线，尤其是，该光束成形设备115具有多个非球面透镜117、119以重新分配该激光束105的辐照度，以便于减少该激光束105的用于分离物体的有效辐射光谱中的辐照度的变化。和具有不均匀的高斯辐照度分布曲线的传统激光束相比，通过重新分配激光束105的辐照度，这种激光束的辐射能量可以更为有效地被传送到半导体晶圆102进行激光分离。本发明也公开了一种分离物体的方法。

主权项

一种用于分离物体的装置，该装置包含有：激光器，其被配置来发出具有高斯辐照度分布曲线的激光束；光束成形设备，其被配置来重新成形从激光器中发出的激光束的高斯辐照度分布曲线，该光束成形设备具有第一非球面透镜及第二非球面透镜，该非球面透镜被配置来重新分配该激光束的辐照度，其中该第一非球面透镜被设置来聚集激光束，该第二非球面透镜被设置来随后发散该已被聚集的激光束以提高该激光束的用于分离物体的辐照度的均一性;并且改变光束扩展设备，其被配置来改变激光束的纵横比，以形成平顶激光输出，该平顶激光输出限定长纵轴和正交于该长纵轴的短轴，该改变后的激光束沿着长纵轴的宽度比沿着短轴的宽度更大且沿着该长纵轴具有不变的辐照度峰值。