一种旋转靶材转运机构

摘要

本实用新型公开一种旋转靶材转运机构，该转运机构包括承载靶材的转运装置，及转运小车；所述转运装置在真空罐内，该转运装置定位在靶材喷涂工作台上并位于喷枪下方，进而形成靶材的喷涂定位结构；而转运小车则移动至真空罐开口处，形成承载转运装置的移动式推车结构，进而所述转运装置与转运小车配合形成靶材转运机构。本实用新型所述转运装置将靶材移动至转运小车上，从而实现对旋转靶材的转运，转运小车可将旋转靶材移动至其他地方。进而令工作人员无需进去真空罐体内作业就能实现转运效果，令作业便捷，工作效率提高。

主权项

一种旋转靶材转运机构，其特征在于：该转运机构包括承载靶材的转运装置，及转运小车；所述转运装置在真空罐内，该转运装置定位在靶材喷涂工作台上并位于喷枪下方，进而形成靶材的喷涂定位结构；而转运小车则移动至真空罐开口处，形成承载转运装置的移动式推车结构，进而所述转运装置与转运小车配合形成靶材转运机构。