亚表面结构特征及微区宽频介电特性的测量装置

摘要

本发明公开了亚表面结构特征及微区宽频介电特性的测量装置包括：静电力显微镜，包括：导电微悬臂探针，包括导电探针部分和微悬臂部分，探针在轻敲扫描模式下对待测样品进行第一次扫描；锁相放大器，接收基准频率信号和第一次扫描过程中产生的实时信号，并根据这两种信号产生第一相位信号；探针还在进行第一次扫描之后，在抬高扫描模式下沿着第一次扫描的扫描轨迹对待测样品进行第二次扫描；锁相放大器还根据基准频率信号和第二次扫描过程中产生的实时信号产生第二相位信号；测量装置还包括：信号源，在第二次扫描时将调制电压信号施加到导电探针部分并输出到外部锁相放大器；外部锁相放大器，接收调制电压信号和第二相位信号，并根据这两种信号得到介电响应信号和介电损耗角信号。

主权项

一种基于静电力显微镜的亚表面结构特征及微区宽频介电特性的测量装置，包括：静电力显微镜，该静电力显微镜包括：导电微悬臂探针（100），包括导电探针部分（110）和微悬臂部分（120），该导电微悬臂探针（100）用于在轻敲扫描模式下对待测样品进行第一次扫描；锁相放大器（200），用于接收基准频率信号和所述导电微悬臂探针（100）在第一次扫描过程中所产生的实时信号，并根据这两种信号产生第一相位信号；其特征在于，所述导电微悬臂探针（100）还用于在进行第一次扫描之后，在抬高扫描模式下沿着第一次扫描的扫描轨迹对所述待测样品进行第二次扫描；所述锁相放大器（200）还用于根据所述基准频率信号和所述导电微悬臂探针（100）在第二次扫描过程中所产生的实时信号产生第二相位信号；所述测量装置还包括：信号源（330），用于在所述导电微悬臂探针（100）进行所述第二次扫描时将调制电压信号施加到所述导电探针部分（110）并输出到外部锁相放大器作为该外部锁相放大器的参考信号；外部锁相放大器，用于接收所述调制电压信号和所述第二相位信号，并根据该调制电压信号和第二相位信号得到反映样品的介电响应信号和介电损耗角信号。