一种金-镍酸镧层状复合导电薄膜材料的制备方法

摘要

本发明公开了一种金-镍酸镧层状复合导电薄膜材料的制备方法，包括以下步骤：（1）以乙二醇甲醚为溶剂，以硝酸镧和醋酸镍为溶质配制绿色透明溶液；（2）将绿色透明溶液滴到Si基片上旋涂镀膜，先以1000转/分的速率旋转9秒，再以4000转/分的速率旋转50秒得到前驱体湿膜；（3）放入马弗炉中于750℃退火处理5分钟；（4）重复步骤（2）和（3）多次得到镍酸镧导电薄膜；（5）利用离子溅射仪在镍酸镧导电薄膜上溅射20-50秒得到金薄膜，再在溅射的金薄膜上旋涂一层镍酸镧导电薄膜，放入马弗炉中于750℃保温30分钟制得。本发明结合化学溶液沉积法和溅射法有效提高了镍酸镧导电薄膜材料的导电性，具有工艺简单、成本低廉、组成均匀和可大面积成膜等优点。

主权项

一种金‑镍酸镧层状复合导电薄膜材料的制备方法，其特征在于包括以下步骤：（1）以乙二醇甲醚为溶剂，以硝酸镧和醋酸镍为溶质配制绿色透明溶液，其中La³⁺和Ni²⁺的摩尔比为1:1，La³⁺的摩尔浓度为0.1mol/L；（2）将步骤（1）配制的绿色透明溶液滴到Si基片上旋涂镀膜，先以1000转/分的速率旋转9秒，再以4000转/分的速率旋转50秒得到前驱体湿膜；（3）将步骤（2）得到的前驱体湿膜放入马弗炉中于750℃退火处理5分钟；（4）重复步骤（2）和（3）多次得到镍酸镧导电薄膜；（5）利用离子溅射仪在1kV和13.8mA的条件下在步骤（4）得到的镍酸镧导电薄膜上溅射20‑50秒得到金薄膜，溅射时靶材与样品的间距为4cm，再在溅射的金薄膜上旋涂一层镍酸镧导电薄膜，然后放入马弗炉中于750℃保温30分钟制得金‑镍酸镧层状复合导电薄膜材料。