发明名称 线锯装置和在线锯切割期间连续去除磁性杂质的方法
摘要 本发明提供用于在线锯切割过程期间从线锯切割浆料中去除磁性或磁化污染物的方法和装置。该装置包括限定浆料流动路径的再循环浆料分配系统。该再循环浆料分配系统包括用于从浆料中去除磁性或可磁化的污染物的磁力分离器,其中经纯化的浆料被排出回到该再循环浆料分配系统内的再循环中。
申请公布号 CN102257603B 申请公布日期 2015.08.19
申请号 CN200980151102.0 申请日期 2009.12.21
申请人 嘉柏微电子材料股份公司 发明人 S.格伦比尼;R.纳加拉詹
分类号 B28D5/00(2006.01)I 主分类号 B28D5/00(2006.01)I
代理机构 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人 宋莉
主权项 线锯切割装置,包括:适合于固定工件的安装和支撑头;线锯,其相对于所述安装和支撑头定位使得在操作时所述工件可与所述线锯接触;用于将浆料从再循环浆料分配系统施加到所述线锯上的施加区域,所述施加区域定位和适合用于将抛光浆料输送至所述线锯,所述再循环浆料分配系统限定浆料流动路径;线锯浆料出口区域,其适合于引导浆料离开所述线锯和所安装的工件并回到所述再循环浆料分配系统中;所述再循环分配系统,其包括至少一个用于从所述浆料中去除磁性或可磁化的污染物的磁力分离器;其中所述磁力分离器包括适合于将所述浆料的至少一部分接收到所述磁力分离器中的入口和适合于将经纯化的浆料排出回到所述再循环浆料分配系统内的循环中的出口;所述再循环浆料分配系统进一步包括:分流器,其定位于所述线锯浆料出口区域与所述分离器入口之间,且适合于将所述浆料的至少一部分分流至所述磁力分离器;接合器,其定位于所述分流器、所述磁力分离器的出口和所述施加区域之间,且适合于将从所述磁力分离器的出口排出的浆料与未分流至所述磁力分离器的那部分浆料合并回到所述再循环浆料分配系统中在所述接合器与所述施加区域之间的区域处的循环中。
地址 美国伊利诺伊州