发明名称 単結晶引上げ装置の結晶保持機構および単結晶インゴット製造方法
摘要 The present invention is provided with a support on a gripping member, the support being composed of linear springs which elastically support an engaging portion. Thus, the support can be reused, and generation of rupture and dislocation of a single crystal ingot from a gripping part of the engaging portion can be prevented.
申请公布号 JP5765642(B2) 申请公布日期 2015.08.19
申请号 JP20130508898 申请日期 2012.04.04
申请人 株式会社SUMCO 发明人 須田 歩;四ッ井 拓也
分类号 C30B15/30;C30B29/06 主分类号 C30B15/30
代理机构 代理人
主权项
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