一种谐振腔内激光击穿光谱检测装置

摘要

一种谐振腔内激光击穿光谱检测装置，包括激光光源、光谱分析单元、谐振腔和移动样品台；光谱分析单元包括主机和光谱仪；所述谐振腔由前腔镜和后腔镜构成。本发明利用谐振腔，如固态激光器中的谐振腔，或者直接使用F-P型谐振腔，使激光在腔内部形成共振态，从而具有较强的光强，把待测物质移动到腔内的光强处，物质由于吸热而产生等离子体，等离子体再发射光线，光线被光谱仪分析从而得到物质的成分以及含量。本发明所用激光具有更高的击穿功率，使得待测物质更容易离子化，从而得以分析更多的物质成分；由于腔内光强比腔外光强至少强10倍，在和腔外光强同等效果下，其功率至少可以下降10倍以上。

主权项

一种谐振腔内激光击穿光谱检测装置，包括激光光源和光谱分析单元，所述光谱分析单元包括计算机主机(6)和光谱仪(5)，其特征在于：还包括谐振腔(3)和移动样品台(4)；所述谐振腔(3)由前腔镜和后腔镜构成，激光光源出光自所述谐振腔(3)前腔镜入射腔内；所述移动样品台(4)中放置待测物质(4‑1)，可升入所述谐振腔(3)内；所述光谱仪(5)的探测端对准升入谐振腔(3)内的移动样品台(4)。