| 发明名称 | 静电电容型压力传感器、压力检测器及输入装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种隔膜不易产生初期变形的静电电容型压力传感器、压力检测器及输入装置。固定电极基板(32)的上面由电介质膜(33)覆盖。在压缩应力膜(38)的上面或下面的一方形成有凹槽(34)(凹部)。在电介质膜(33)之上层叠上基板(35)。上基板(35)中与凹槽(34)相对的区域成为可弹性变形的隔膜(36)，在隔膜(36)的上面的至少一部分形成有压缩应力膜(38)。 | ||
| 申请公布号 | CN104848971A | 申请公布日期 | 2015.08.19 |
| 申请号 | CN201510056317.1 | 申请日期 | 2015.02.03 |
| 申请人 | 欧姆龙株式会社 | 发明人 | 井上胜之;佐野浩二;奥野敏明;古村由幸 |
| 分类号 | G01L1/14(2006.01)I | 主分类号 | G01L1/14(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 张劲松 |
| 主权项 | 一种静电电容型压力传感器，其特征在于，具有：固定电极基板；电介质膜，其在上面或下面的一方具有凹部，并覆盖所述固定电极基板的上面；上基板，其设于所述电介质膜之上；可弹性变形的隔膜，其由所述上基板中与所述凹部相对的区域形成；压缩应力层，其形成于所述隔膜的上面的至少一部分。 | ||
| 地址 | 日本京都府 | ||