BAW部件、BAW部件的叠层和用于制造BAW部件的方法，所述BAW部件包括两个不同的堆叠压电材料

摘要

提供改进的BAW部件、BAW部件的叠层和用于制造BAW部件的方法。BAW部件的叠层（L）包括具有第一压电材料的第一层（PM1）和具有第二压电材料的第二层（PM2），该第二压电材料与该第一压电材料不同。第一和第二压电材料可以分别是Sc掺杂AlN和AlN。公开用于制造具有不同谐振频率或开关闭合电压的多个BAW部件的方法。部件包括具有不同蚀刻选择性的两个压电层的堆叠并且方法牵涉在选择的部件中去除其中一个层。

主权项

一种BAW部件（BAWC），其包括：‑第一BAW谐振器（BAWR1），其具有底部电极（BE）、顶部电极（TE）和所述底部电极（BE）与所述顶部电极（TE）之间的叠层（L），其中‑所述叠层（L）包括具有第一压电材料（PM1）的第一层和具有第二压电材料（PM2）的第二层，‑所述第一压电材料（PM1）与所述第二压电材料（PM2）不同。