基于内置软容器的刚性容器气体混配装置及方法

摘要

本发明公开了一种基于内置软容器的刚性容器气体混配装置及方法。该基于内置软容器的刚性容器气体混配装置包括刚性容器、原料气输入组件和气体循环组件；刚性容器上设有排气阀；刚性容器内设有内置软容器，内置软容器外接流体充排组件，当内置软容器内充满流体时占满刚性容器内部空间，原料气输入组件和气体循环组件分别与刚性容器连接。该装置具有节能省时、安全可靠、结构简单、成本低廉、适用性强的优点。该气体混配方法包括以下步骤：1）开启排气阀；2）启动流体充排组件；3）启动原料气输入组件；4）断开原料气输入组件；5）启动气体循环组件，将刚性容器内原料气充分混合。该方法具有混配效率高、混配精度高的优点。

主权项

一种基于内置软容器的刚性容器气体混配装置，包括刚性容器（1）、原料气输入组件（2）和气体循环组件（3），所述刚性容器（1）上设有排气阀（11），所述原料气输入组件（2）和气体循环组件（3）分别与刚性容器（1）连接，其特征在于：所述刚性容器（1）内设有内置软容器（12），所述内置软容器（12）外接流体充排组件（13），当内置软容器（12）内充满流体时占满刚性容器（1）内部空间。