OLED屏体解析用显微装置

摘要

本实用新型涉及一种OLED屏体解析用显微装置，包括具有镂空的载物台、彼此独立的分置于载物台两侧的第一成像系统和第二成像系统，其中第一成像系统包括第一物镜和置于第一物镜的光学路径上的第一图像传感单元，第二成像系统包括第二物镜和置于第二物镜的光学路径上的第二图像传感单元，第一物镜与第二物镜共轴设置，分置于载物台两侧，且第一物镜与第二物镜之间由于所述镂空无遮挡，OLED屏体解析用显微装置还包括分别与第一图像传感单元和第二图像传感单元连接的显示器。两套成像系统的两个物镜之间无遮挡，且两个物镜共轴设置，从而能同时从两侧对屏体的同一位置进行观察，从而显著提高解析效率，缩短异常反馈时间，降低生产成本。

主权项

一种OLED屏体解析用显微装置，其特征在于，包括具有镂空的载物台、彼此独立的分置于所述载物台两侧的第一成像系统和第二成像系统，其中所述第一成像系统包括第一物镜和置于所述第一物镜的光学路径上的第一图像传感单元，所述第二成像系统包括第二物镜和置于所述第二物镜的光学路径上的第二图像传感单元，第一物镜与第二物镜共轴设置，分置于所述载物台两侧，且第一物镜与第二物镜之间由于所述镂空无遮挡，所述OLED屏体解析用显微装置还包括分别与所述第一图像传感单元和第二图像传感单元连接的显示器。