同心圆掩膜版、图形化衬底及制造方法

摘要

本发明提供一种同心圆掩膜版，包括：一光刻板，所述光刻板上具有同心圆阵列，每个所述同心圆由内向外依次具有内圆、中间环和外圆环，每个所述同心圆的内圆和外圆环对应的部分不透光。本发明还提供一种利用所述的同心圆掩膜版制造的图形化衬底，所述图形化衬底具有阵列分布的皇冠型结构，所述皇冠型结构的中心顶部为三角圆锥形。以及本发明还提供一种图形化衬底的制造方法。本发明利用同心圆掩膜版可以简化皇冠型结构的图形化衬底的制造流程，降低成本的同时，避免量产时由于光刻图形套刻无法准确控制所造成的刻蚀后皇冠形貌差异、甚至变形所带来的片间重复性问题。

主权项

一种利用同心圆掩膜版制造的图形化衬底，所述同心圆掩膜版包括:一光刻板，所述光刻板上具有同心圆阵列，每个所述同心圆由内向外依次具有内圆、中间环和外圆环，每个所述同心圆的内圆和外圆环对应的部分不透光，其特征在于，所述图形化衬底具有阵列分布的皇冠型结构，所述皇冠型结构包括两部分，其底部为圆柱体，顶部的边缘由连续的三角圆锥体组成环形，顶部的中间为一个三角圆锥体。