Impedance Matching Method And Impedance Matching System
摘要
<p>본 발명은 임피던스 매칭 장치 및 임피던스 매칭 방법을 제공한다. 가변 리액턴스 임피던스 매칭 네트워크는 구동 주파수(f)를 변경하는 주파수 가변 RF 전원과 부하 사이에 배치된다. 상기 가변 리액턴스 임피던스 매칭 네트워크의 임피던스 매칭 방법은 상기 임피던스 매칭 네트워크의 가변 리액티브 소자의 커페시턴스 또는 인덕턴스의 변화량을 목표 구동 주파수(f)와 상기 구동 주파수(f)의 차이의 함수로 제어하는 것을 포함한다.</p>
