| 摘要 |
<p>본 발명은 스프레이 노즐을 이용하는 코팅 시스템에 관한 것이며, 본 발명의 스프레이 노즐을 이용하는 코팅 시스템은 미세하고 균일하게 액적의 크기를 제어하여 기판을 효과적으로 코팅하며, 대량생산에 적용할 수 있는 것을 특징으로 한다. 따라서, 본 발명에 의하면, 기판이 거치되는 지지부; 기판을 향하여 기체와의 충돌에 의해 1차적으로 미립화된 액체를 분사하는 스프레이 노즐; 상기 스프레이 노즐로부터 분사되는 액체가 전하를 포함하도록 상기 스프레이 노즐에 전압을 인가하며, 상기 스프레이 노즐에 인가된 전압에 의해 상기 지지부와 상기 스프레이 노즐 사이에 전기장을 발생시켜 상기 스프레이 노즐로부터 분사되는 액체를 2차적으로 미립화하는 전압 인가부; 상기 지지부 및 상기 스프레이 노즐 중 적어도 어느 하나를 이송시키는 이송부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 스프레이 노즐을 이용하는 코팅 시스템이 제공된다.</p> |
