发明名称 PRESSURIZATION DISC BONDING DEVICE AND BONDING METHOD
摘要 <p>일방의 원판의 측면의 1군데에 각도맞춤용의 노치가 있더라도 2매의 원판을 접합한 후의 원판적층체의 원주방향의 두께 프로필에 불균형이 발생하는 것을 억제한다. 스테이지(50)상에 지지된, 접착제가 상면에 균일하게 도포된 제1원판(W1)의 상방에, 측면에 각도맞춤용의 노치(N)가 형성된 제2원판(W2)이 대향하도록 지지되고, 제1원판(W1) 및 제2원판(W2)과 중심맞춤이 이루어진 가압원판(60)에 의하여 제2원판(W2)의 상면을 균등한 힘으로 가압하여 제1원판(W1) 및 제2원판(W2)을 접합하여 원판적층체를 제작한다. 가압원판(60)의 측면에는, 제2원판(W2)의 노치(N)에 대응하여 가압원판(60)의 하면과 동일한 면으로 설정되는 돌기부(61)가 형성된다.</p>
申请公布号 KR101544734(B1) 申请公布日期 2015.08.17
申请号 KR20147014329 申请日期 2012.10.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/02;H01L21/304;H01L21/603;H01L21/683 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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