热处理装置;HEAT TREATMENT APPARATUS

摘要

于石英管之炉口设置有门，该门系可藉由开闭机构进行开闭。门系具有配置在石英管侧之石英板、被保持在门之内侧之隔热材料、及将石英板与隔热材料加以保持之门框。开闭机构系具有于前端支撑门框且与门一同被驱动至接近或远离石英管之方向之驱动臂、及驱动驱动臂之驱动手段，并且藉由驱动手段之驱动力加以驱动门，而将石英管之炉口加以开放或闭锁。门倾斜调整构件系以可倾斜之方式被加以支撑于驱动臂之前端，并且被安装在门框上，且以可调整倾斜之方式支撑门。