高能量离子植入装置、射束平行化器及射束平行化方法

摘要

提供适合高能量离子植入装置的射束平行化器。射束平行化器(300)具备复数个透镜部(310、312)，沿着基准轨道配列，以使相对于基准轨道被平行化之射束生成于射束平行化器(300)的出口。复数个透镜部(310、312)分别构成为，形成弓形弯曲间隙，并且藉由施加于弓形弯曲间隙之电场来改变射束行进方向相对于基准轨道所成之角度。空间部(322、324)设置于复数个透镜部(310、312)中的一个透镜部和与该透镜部相邻之透镜部之间。空间部(322、324)朝向与被平行化之射束的基准轨道垂直的剖面之短边方向。包括基准轨道在内之内侧区域通过空间部(322、324)与复数个透镜部(310、312)的外侧区域连接。