流量计及具备该流量计的流量控制装置

摘要

本发明提供一种：有效地利用压力式流量控制部所具备的高耐压力变动特性，藉由将衰减式流量监测部组合于压力式流量控制部的上游侧，执行趋近于即时(real time)的流量监测，并藉由可对应于流量区域来切换监测流量，而能扩大监测流量范围与提升监测精确度和流量控制之精确度之具有流量范围切换型流量监测器的压力式流量控制装置。;本发明，是由「设于上游侧的衰减式流量监测部BDM」、和「设于其下游侧的压力式流量控制部FCS」、和「连结衰减式流量监测部BDM与压力式流量控制部FCS，将衰减式流量监测部BDM的监测流量Q朝压力式流量控制部FCS传送的讯号传送回路CT」、及「设于压力式流量控制部FCS，根据来自于前述衰减式流量监测部BDM的监测流量Q，调整压力式流量控制部FCS之设定流量Qs的流量设定值调整机构QSR」所构成之具有衰减式流量监测器的压力式流量控制装置，前述衰减式流量监测部BDM的监测流量演算控制部CPb形成：当大流量时，使前述出口侧开闭切换阀PV2保持开放状态，并将入口侧开闭切换阀PV1的出口侧与流量控制部FCS的控制阀CV之间的气体通路内容积，作为衰减容积而演算大监测流量Q1，此外，当小流量时，使入口侧开闭切换阀PV1保持开放状态，并将出口侧开闭切换阀PV2的出口侧与流量控制部FCS的控制阀CV之间的气体通路内容积而演算小监测流量Q2的构造。