多重图案化参数之量测;MEASUREMENT OF MULTIPLE PATTERNING PARAMETERS

摘要

本发明呈现用于评估多重图案化程序之效能之方法及系统。量测经图案化结构且判定以由该多重图案化程序引起之几何误差为特征之一或多个参数值。在一些实例中，量测一单一图案化目标及一多重图案化目标，经收集资料拟合至一经组合量测模型，且基于该拟合判定指示由该多重图案化程序引起之一几何误差之一结构参数的值。在一些其他实例中，收集并分析具有不同于零之一绕射阶之光以判定指示由一多重图案化程序引起之一几何误差之一结构参数的值。在一些实施例中，收集不同于零之一单一绕射阶。在一些实例中，设计一度量衡目标以增强以不同于零之一阶绕射之光。