固定电极与可移除靶件间的电接触方法;ELECTRICAL CONTACT METHOD BETWEEN FIXED ELECTRODE AND REMOVABLE TARGET PIECE

摘要

本发明之实施例关于一种电浆源，包含电极和复数个靶件，复数个靶件覆盖电极的外侧表面。靶件系藉由一或多个弹簧或弹簧状元件而电性耦接至电极。替代地，靶件可藉由夹具或托架而被推抵电极的外表面。由于靶件并未结合至电极，替换靶件变得较便利。