支撑基板的装置以及操作静电夹的方法;APPARATUS TO SUPPORT A SUBSTRATE AND METHOD OF OPERATING AN ELECTROSTATIC CLAMP

摘要

一种支撑基板的装置，可包括基底以及邻近于基底并配置来用于支撑基板表面的绝缘部分。该装置亦可包括电极系统，以提供夹持电压给基板，其中配置绝缘部分以藉由具有一通道宽度的至少一通道来提供气体给基板，其中气体压力以及通道宽度的乘积小于气体的帕申最小值，其中帕申最小值为气体的破坏电压为最小值下一外壳的表面的间距与压力的乘积。