发明名称 |
用于藉助局部能量输送而微调磁铁阵列之装置及方法;APPARATUS AND METHOD FOR FINE-TUNING MAGNET ARRAYS WITH LOCALIZED ENERGY DELIVERY |
摘要 |
一项实施例系关于一种用于调整一磁性器件之局部磁性强度之装置。一载台固持该磁性器件,且一感测器在该磁性器件上方之位置处量测一磁场以便产生磁场资料。一电脑系统依据该磁场资料侦测该磁场之一不均匀性且判定施加一脉冲雷射光束之一位置及一持续时间以校正该不均匀性。一雷射器件在该位置处施加该脉冲雷射光束达该持续时间。另一实施例系关于一种调整一磁性器件之局部磁性强度之方法。另一实施例系关于一种用于藉助局部能量输送而微调一磁铁阵列之系统。亦揭示其他实施例、态样及特征。 |
申请公布号 |
TW201531826 |
申请公布日期 |
2015.08.16 |
申请号 |
TW103144631 |
申请日期 |
2014.12.19 |
申请人 |
克莱谭克公司 KLA-TENCOR CORPORATION |
发明人 |
格尔林 约翰 GERLING, JOHN |
分类号 |
G05F7/00(2006.01) |
主分类号 |
G05F7/00(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
陈长文 |
主权项 |
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地址 |
美国 US |