| 发明名称 |
移置至少一光学构件的方法;METHOD FOR DISPLACING AT LEAST ONE OPTICAL COMPONENT |
| 摘要 |
本发明揭露一种移置光学构件的方法，其中用以移置该构件时所需的最大电功率小于用以移置该等至少二致动器之最大电功率之总和。 |
| 申请公布号 |
TW201531740 |
申请公布日期 |
2015.08.16 |
| 申请号 |
TW104103399 |
申请日期 |
2015.02.02 |
| 申请人 |
卡尔蔡司ＳＭＴ有限公司 CARL ZEISS SMT GMBH |
发明人 |
科隆 史蒂芬 KRONE, STEFAN;伯格 拉尔斯 BERGER, LARS |
| 分类号 |
G02B26/08(2006.01);G02B7/198(2006.01);G03F7/20(2006.01) |
主分类号 |
G02B26/08(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
李宗德 |
| 主权项 |
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| 地址 |
德国 DE |
