涂布装置;COATING DEVICE

摘要

本发明的目的在于提供一种涂布装置，在利用涂布液供给管对移动的喷嘴输送涂布液的构成中，可减少从喷嘴喷出的涂布液的流量紊乱。相对地固定配置于涂布单元的配管是沿着与涂布单元的移动方向(X方向)正交的YZ面内而配设。因此，可有效防止如下情况：因由往返移动所引起的惯性力，而导致在配管的内部流动的涂布液产生流路方向的压力变动。另外，因为配管作为压力变动吸收部发挥功能，所以可吸收在所述配管的内部流动的涂布液的压力变动。如此，能够使压力变动已减少的涂布液从连接于配管的喷嘴喷出。