切片方法

摘要

本发明提供一种切片方法，其使用线锯，一边对于卷绕在复数个线导件上的线供给冷却液，一边使前述线移动，且使矽晶棒压抵在该线上并切断该矽晶棒，来得到复数片切片晶圆，其中，将供给到前述线的冷却液中的铜浓度设为80ppm以下。藉此，能提供一种切片方法，其使用线锯，并能稳定地得到铜污染降低的高清净度的矽晶圆。