基板处理系统;SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM

摘要

本发明达成增加每单位时间中的搬运片数。 第1搬运装置从匣盒取出基板进行搬运。第1收容部收容由第1搬运装置所搬运的基板。第1基板处理单元分成排列在高度方向上的至少2个群组。第2收容部对应于该等群组中的各群组，与第1收容部排列配置在高度方向上。第2搬运装置对应于该等群组中的各群组，从相同群组的第2收容部取出基板并向同一群组的第1基板处理单元进行搬运。转移装置对应于该等群组中的各群组，将收容于第1收容部的基板向相同群组的第2收容部进行转移。并且，将对应于相邻接的2个群组之第1收容部配置于2个群组的中间高度，将分别对应于不同群组的第2收容部配置于第1收容部的顶部及底部。