基于从标准参考影像判定之属性之缺陷侦测及分类;DEFECT DETECTION AND CLASSIFICATION BASED ON ATTRIBUTES DETERMINED FROM A STANDARD REFERENCE IMAGE

摘要

本发明提供用于对一晶圆上侦测之缺陷进行分类之系统及方法。一种方法包含基于由一检验系统针对一晶圆产生的输出来侦测该晶圆上的缺陷。该方法亦包含基于对应于该等缺陷之至少一者之一标准参考影像的部分来判定该等缺陷之该至少一者的一或多个属性。该方法进一步包含至少部分基于该一或多个经判定属性来对该等缺陷之该至少一者进行分类。