超纯水中的微粒子数之测定方法及装置

摘要

提供可以精准地检测超纯水中的微粒子数的微粒子数之测定方法及装置。该藉由两个以上的微粒子测定手段A、B，测定超纯水中的微粒子数之方法及装置，分别让超纯水流通于各微粒子测定手段，而分别将每单位时间或单位体积的微粒子数进行测定，采用各测定值的最低值作为超纯水中的微粒子数。使用该方法及装置进行超纯水制造装置的趋向(trend)管理。