固结粒状矽及量测非金属含量之方法与装置;METHOD AND APPARATUS FOR CONSOLIDATION OF GRANULAR SILICON AND MEASURING NON-METALS CONTENT

摘要

本发明揭示用于固结粒状矽及测定固结矽中之微量元素含量的装置及方法。矽颗粒置放于容器中，且已知纯度之矽块至少部分地嵌埋于颗粒中。矽块预热至足以与感应加热器耦合的温度。当矽块熔化时，邻近于熔化矽的矽颗粒亦熔化。容器自前端至尾端通过感应线圈以连续感应加热及熔化矽颗粒之区域，其中当熔化矽离开感应线圈时，各区域凝固以提供多晶矽锭。将多晶矽锭切成晶圆，藉由低温傅立叶转换红外光谱学(Fourier transform infrared spectroscopy)分析测定矽锭中之微量元素含量。