光机惯性感测器;OPTO-MECHANICAL INERTIAL SENSOR

摘要

本揭露之实施例系关于微机电系统(MEMS)感测设备，包括组态以产生光束的雷射设置、组态以接收及输出光束的第一波导以及与第一波导端面对端面对准的第二波导。第二波导可组态以透过对准的端面经由光学耦合从第一波导接收光束的至少一部分。第一或第二波导可组态以反应于设备之惯性改变而为可移动的，其中第一或第二波导之移动引起在光束之该部分的光强度上的改变，在光强度上的改变指示惯性改变的测量。其它实施例可被说明及/或请求为申请专利范围。