| 发明名称 |
用于网格式处理之无遮罩微影;MASKLESS LITHOGRAPHY FOR WEB BASED PROCESSING |
| 摘要 |
本揭露是有关于一种网格式基板之处理方法及设备。当基板在滚轮之间运行时，基板可被拉伸，从而被扭曲。一旦基板到达此滚轮，基板扭曲是固定的。藉由调整处理参数，扭曲基板系被处理，而不需要校正扭曲。 |
| 申请公布号 |
TW201531808 |
申请公布日期 |
2015.08.16 |
| 申请号 |
TW103134697 |
申请日期 |
2014.10.06 |
| 申请人 |
应用材料股份有限公司 APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
班杰 克利斯多福 BENCHER, CHRISTOPHER |
| 分类号 |
G03F7/20(2006.01);G03F7/24(2006.01) |
主分类号 |
G03F7/20(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
祁明辉林素华涂绮玲 |
| 主权项 |
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| 地址 |
美国 US |
