用于加速度计与陀螺仪的光机感测器;OPTOMECHANICAL SENSOR FOR ACCELEROMETRY AND GYROSCOPY

摘要

本揭露之实施例系关于微机电系统(MEMS)感测装置，包括组态以产生光束的雷射设置、组态以接收及输出光束之第一部分的第一波导，以及具有易消散地耦合到该第一波导之部件且组态以接收及输出光束之第二部分的第二波导。第二波导之部件组态以实质平行于第一波导而可移动，其中第二波导之部件的移动可由施加到感测装置的惯性改变所引起。部件的移动可引起光束之第一及第二部分之间光强度上可侦测的改变。基于经侦测的改变，可确定惯性改变。可说明及/或请求其它实施例。