用于加速度测定法和陀螺仪之光学机械感应器;OPTOMECHANICAL SENSOR FOR ACCELEROMETRY AND GYROSCOPY

摘要

本发明之实施例系指用于一微机电系统(MEMS)装置之技术及架构，其建构成决定施加于装置之惯性变化。在一例子中，装置可包含一雷射配置，其建构成产生具有共振波长之光束，一波导，其建构成接收及输出光束，及一光学共振器，其包含一可变形之封闭回路及光耦合于波导，以接收光束之一部分。光学共振器之变形造成行进通过光学共振器之光束的一部分之光学路径长度变化，导致波导所输出光束之共振波长变化。本发明亦说明及(或)主张其他实施例。