IMPLANTATIONSGERÄT MIT EINER IONENSTRAHLRICHTEINHEIT, HALBLEITERVORRICHTUNG UND HERSTELLUNGSVERFAHREN

摘要

Ein Ionenimplantationsgerät (100) umfasst eine Ionenstrahl- Richteinheit (120), einen Substratträger (190) und einen Controller (150). Der Controller (150) ist gestaltet, um eine Relativbewegung zwischen einem durch die Ionenstrahl-Richteinheit laufenden Ionenstrahl (101) und dem Substratträger (190) zu bewirken. Eine Strahlspur (109) des Ionenstrahles (101) auf einem auf dem Substratträger (190) befestigten Substrat (200) umfasst Kreise oder eine Spirale.