发明名称 Kompensierendes optisches Mikrosystem
摘要 Bei dem erfindungsgemäßen handelt es sich ein Verfahren zum Betreiben eines kompensierten Sensorsystems dadurch gekennzeichnet, dass ein Messwert als „ungestört” durch eine Bewertungseinheit bewertet wird, wenn sich dieser Messwert einer Messfrequenz von dem Messwert einer Prüffrequenz unterscheidet. Der Messwert bei der Messfrequenz dann als „gestört” durch die Bewertungseinheit bewertet wird, wenn sich dieser Messwert von dem Messwert bei der Prüffrequenz um mehr als einen vorbestimmten relativen unterscheidet. Die Unterschiede der Modulationsfrequenzen benachbarter Modulationsfrequenzen sind dabei typischerweise kleiner ein vorbestimmter Anteil der der Frequenzbandbreite des Reglers der die Kompensation regelt. Typischerweise werden drei Modulationsfrequenzen benutzt, von den eine als Messfrequenz, eine als Prüffrequenz und eine als Reservefrequenz dient. Bei einer Bewertung als „gestört” wird die Messfrequenz zur Reservefrequenz, die Prüffrequenz zur Messfrequenz und die bisherige Reservefrequenz zur Prüffrequenz.
申请公布号 DE102014002194(A1) 申请公布日期 2015.08.13
申请号 DE20141002194 申请日期 2014.02.12
申请人 ELMOS SEMICONDUCTOR AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 SONNTAG, ANDREAS
分类号 H03K17/78;G01D3/036;G01D5/244;H04B10/07 主分类号 H03K17/78
代理机构 代理人
主权项
地址