发明名称 基板アセンブリ、基板をボンディングする方法および装置
摘要 本発明は、第2の基板(7)に第1の基板(1)をボンディングする方法であって、前記第1の基板(1)の第1のコンタクト面(1k)を、前記第2の基板(7)の、前記第1のコンタクト面(1k)に対して平行に配向された第2のコンタクト面(18k)に接触させて、これにより1つの共通のコンタクト面(22)を形成するステップ、および前記第1の基板(1)と前記第2の基板(7)との間で、前記共通のコンタクト面(22)の外側において、特に点状の材料接続式の結合部を形成するステップ、特に経過を有する方法に関する。さらに本発明は、相応する装置および基板アセンブリであって、前記第1の基板(1)の第1のコンタクト面(1k)が、前記第2の基板(7)の、前記第1のコンタクト面(1k)に対して平行に配向された第2のコンタクト面(18k)と共に1つの共通のコンタクト面(22)を形成し、該共通のコンタクト面(22)の外側で、前記第1の基板(1)と前記第2の基板(7)との間に、特に点状の材料接続式の結合部が形成されている、第1の基板(1)および第2の基板(7)から成る基板アセンブリに関する。
申请公布号 JP2015523737(A) 申请公布日期 2015.08.13
申请号 JP20150524646 申请日期 2012.07.30
申请人 エリッヒ・タールナー 发明人 エリッヒ・タールナー
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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