摘要 |
本発明は、第2の基板(7)に第1の基板(1)をボンディングする方法であって、前記第1の基板(1)の第1のコンタクト面(1k)を、前記第2の基板(7)の、前記第1のコンタクト面(1k)に対して平行に配向された第2のコンタクト面(18k)に接触させて、これにより1つの共通のコンタクト面(22)を形成するステップ、および前記第1の基板(1)と前記第2の基板(7)との間で、前記共通のコンタクト面(22)の外側において、特に点状の材料接続式の結合部を形成するステップ、特に経過を有する方法に関する。さらに本発明は、相応する装置および基板アセンブリであって、前記第1の基板(1)の第1のコンタクト面(1k)が、前記第2の基板(7)の、前記第1のコンタクト面(1k)に対して平行に配向された第2のコンタクト面(18k)と共に1つの共通のコンタクト面(22)を形成し、該共通のコンタクト面(22)の外側で、前記第1の基板(1)と前記第2の基板(7)との間に、特に点状の材料接続式の結合部が形成されている、第1の基板(1)および第2の基板(7)から成る基板アセンブリに関する。 |