| 发明名称 |
オブジェクトホルダ及びリソグラフィ装置 |
| 摘要 |
支持体（１００）を有する、オブジェクト（Ｗ）を支持するオブジェクトテーブル（ＷＴ）と、オブジェクトを保持するオブジェクトホルダ（３０）と、オブジェクトホルダの縁部に隣接する開口（５）と、通路（１４）を経て開口と流体通路するチャネル（１６）とを備え、チャネルは通路を画定する第２の材料とは異なる第１の材料によって画定される。【選択図】 なし |
| 申请公布号 |
JP2015523721(A) |
申请公布日期 |
2015.08.13 |
| 申请号 |
JP20150514401 |
申请日期 |
2013.05.07 |
| 申请人 |
エーエスエムエル ネザーランズ ビー．ブイ． |
发明人 |
ローラン，ティボー，サイモン，マチュー;ヤコブス，ヨハネス，ヘンリカス，ウィルヘルムス;サイモンズ，ウィルヘルムス，フランシスカス，ヨハネス;フーベン，マーティン;ラファーレ，レイモンド，ウィルヘルムス，ルイス;ステッフェンス，コエン;レンペンス，ハン，ヘンリカス，アルデゴンダ;コーティエ，ロジェ，ヘンドリカス，マグダレーナ;ブロックス，ルート，ヘンドリカス，マルティヌス，ヨハネス;ピーテルス，ゲルベン;トロンプ，ジークフリート，アレクサンダー;ポレット，セオドルス，ウィルヘルムス;オーヴァーカンプ，ジム，ヴィンセント;ヴァイ，ヴァン，ヴォン |
| 分类号 |
H01L21/027;G03F7/20;H01L21/677 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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